Enabling Ultra-Compact 3D Microstructures
Suex
High-Aspect-Ratio Thick Film
単層 最大 1150µm

WHY(なぜSUEXか)

AIサーバーの進化により、パワーインダクターにはさらなる小型化・高密度化が求められています。
しかし、従来のプロセスでは「厚み」と「精度」を両立することが難しく、構造設計に制約がありました。
SUEXは、高アスペクト比の厚膜形成により、その限界を突破します。

SUEXの3つの強み

① 圧倒的な厚み

単層最大1150µm 
👉 多層不要 → 工程削減・歩留まり向上

②深く、シャープに形成

アスペクト比 30:1以上
最小解像度 4µm

👉 深くても崩れない
👉 垂直側壁で高精度

③ホットメルト(溶剤レス)

乾燥工程不要 → 工程短縮
廃液ゼロ → クリーンプロセス
高歩留まり → コスト低減
👉 ESG・コスト両立

Primary Application

Power Inductors
AI / Server / High Frequency

Smaller. Quieter. More Powerful.

小型化、低ノイズ、性能アップ
 
Other Applications 幅広いマイクロ構造に対応
MEMS / Microfluidics
5G / RF Devices
WLP

Why it works / 技術的な裏付け

ネガ型厚膜DFR

 高アスペクト構造を安定形成
深くても崩れない構造
微細かつ深い構造形成に最適

パーマネント構造対応

構造材としてそのまま使用可能
高信頼で長期安定
高信頼材料として機能

ホットメルト(溶剤レス)

高密着・安定プロセス
 環境対応・工程簡略化
安定した量産が可能

広い厚みレンジ(20〜500µm+)

設計自由度が高い
多様なデバイスに対応
柔軟なプロセス設計が可能

Easy Process

エッジビードなし

  • 均一な膜厚で安定品質

均一コーティング

  • 大面積でもばらつきの少ない加工が可能

プレカット対応(96〜450mm)

  • ハンドリング性向上・作業効率改善

幅広いプロセス適応

  • 既存ラインへの導入が容易

Redefining the Standard of Microfabrication.